1,7 SDI Vibrationen / Baujahr 2002 / 190000 KM

Seit einem halben Jahr verspüre ich in vielen Fahrsituationen Vibrationen, die ich früher nicht kannte. So z.B. wenn ich Leistung benötige (leicht bergauf) und ich aber noch nicht hochschalte. Bissl schwer zu erklären, aber so einiges im Innenfraum zittert erheblich mit.
Vielleicht gehört dazu auch, und so kann man es ev. am ehesten beschreiben, dass der Leerlauf sehr unruhig ist. In dem Moment, in dem der Motor die Leerlaufdrehzahl erreicht, vibriert er relativ stark. Wenn ich die Drehzahl von den 800 auf etwa 1000 erhöhe, dann ist es etwas so, wie ich es früher gewohnt war. Lasse ich das Gaspedal wieder los, dann vibriert wieder alles.
Die Werkstatt kann sich keinen Reim drauf machen. Die haben schon alles mögliche angeschaut. Zuletzt die Einspritzdüsen geprüft, ohne Ergebnis.
Ich möchte halt einfach die Ursache ergründen, um nicht irgendwann einen erheblichen Schaden zu haben, den ich jetzt noch vermeiden könnte.
Hat jemand eine Idee?